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低溫泵真空係統需知

2019-07-07  來自: 棋牌賭博app下載 瀏覽次數:691

(1)在低溫泵係統中,有時為了減少表麵出氣,需要對工作室壁用液氮冷卻。但此時,在解釋電離規讀數時就應注意。即使室壁不冷卻,規在低溫係統內的位置很重要,特別是否直接對著泵。由於電離規測量的是氣體密度而不是壓強,若規內氣體溫度為T1,而係統內溫度為T2,則電離規壓強讀數是Pi=P(T1/T2)1/2,這裏P是係統內的壓力。

(2)烘烤低溫泵真空係統時應特別注意,由於低溫泵怕熱輻射,當係統烘烤到450℃時,可能導致泵的溫度升高到超過工作範圍,此時可以在泵和係統之間插入水冷擋板作為熱輻射屏蔽,但這會嚴重地減小抽速。可以把擋板製成烘烤時旋轉到屏蔽位置,結束後旋轉回去的類似於蝶閥的結構。檔板在屏蔽位置時,係統的抽速減小了75%。

(3)在抽氣係統操作時,係統的操作者應確保在工作過程中低溫泵的熱載荷不超過額定指標,尤其應特別注意泵一級吸附板上的熱載荷大小。為了確保低溫泵的熱載荷不超過指標(尤其是一級上的熱負載),應采用某種形式的障板來減少射到一級上的輻射用量。除了真空室壁附近300K的輻射外,一級還接受來自諸如鍍膜室、加熱燈絲或濺射放電等熱輻射源。在許多過程中熱載荷可高達100到150W,此時就容易超過功率為35到40W的膨脹機的容量。因而需要加某種形式的障板來減少射到一級上的輻射通量。最簡單的辦法是用反射的非冷卻障板。如果還不夠的話,則需要采用帶冷卻的人字形障板。這種障板可以用水冷卻也可以用液氮來冷卻。

(4)低溫泵在連續運轉中,尤其是在吸附劑被氦飽和時,應特別注意防止瞬時斷電,因為即使是短時間停電,氦氣也會從吸附劑中釋放出來,而且會把真空器壁上的大量熱量傳到抽氣表麵上去。這時即使係統已經粗抽到20Pa也解決不了問題,因為那也不足以阻止連續的熱傳導現象發生。

如果發生短時間斷電情況,即當氦被猝發以後,則泵就不能再繼續工作,而需要再生了。如果停電時間較長,則可能使水蒸氣從一級釋放出來並澱積在二級上使吸附劑飽和,此時需要徹底再生。

(5)操作中應經常檢查低溫泵的過壓安全閥是否正常,以防止安全閥失靈,對操作者和泵造成危害。

(6)不能用低溫泵抽除有毒的或易爆及容易產生化學反應的危險氣體。因為低溫表麵可冷凝各種蒸氣,所以它會累積大量的沉積物,當泵被升溫時,低溫表麵冷凝的某些沉積物就可能相互反應或與大氣發生反應。例如,矽烷和水蒸氣在77K時會起反應,產生爆炸的危險。如果泵中凝結著爆炸性氣體,則在泵突然升溫大量氣體放出時,它們會流到被抽空的係統中去,此時如果電離規在工作就會發生嚴重問題。 

(7)低溫泵對所有氣體的抽氣能力並不是都一樣。低溫泵的抽氦和抽氫的能力要比抽其它氣體的能力差得多,在係統的組成和操作時應考慮這一點。 

(8)壓縮機需充以高純氦(99.999%)。氖是氦中最常見的雜質,它會凝聚在低溫級上並導致密封件磨損。

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